Aera® AS-71 Thermal Vaporizer Systems

供料系统

Aera^® AS-71 集热式蒸发器系统

Aera^® 集热式蒸发器系统为您的工艺腔室提供精确的蒸汽供给。这一系统使 TEOS、SiCl4、HMDS 以及许多其它前驱物质等液体化学源汽化。整合集热式技术可防止蒸气冷凝，而高温 MFC 则能极其准确地控制蒸汽的供给。AS-71 系统的紧凑设计去除了体积较大的零件，可以快速、简便地装入您的工艺设备中。所有湿润气体接触表面都经过了电解抛光，特别洁净。可选控制面板提供对温度、设定值和流速的显示，并控制系统的报警。

优势	特点
极其精准的液体蒸汽流量易于整合至任何工艺过程中工艺效率提高	小容量设计去除了较大零件紧凑封装li>电解抛光且超洁净的气体湿润表面可选的控制面板可选的自动补给系统

可下载文献

Aera AS-71C Thermal Vaporizers data sheet
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Considerations In the Selection of Vapor Delivery Sub-Systems, March/April 2008 magazine reprint
AE Global Services brochure


联系我们 \| 网站地图	©版权所有 2008 AE公司版权所有

Aera® AS-71 集热式蒸发器系统

可下载文献

更多信息

Aera^® AS-71 集热式蒸发器系统