Aera® EPC 废气压力控制器

废气压力控制器

Aera^® EPC100 和 EPC100-AW 废气压力控制器

Aera^® EPC 废气压力控制器在最恶劣等制造环境下依然能保持卓越的稳定性。N2 先导阀控制和拥有专利的平衡卷轴技术提供传统技术无法企及的高水平的回应性、精确度和稳定性。EPC100-AW 的绝对压力控制方法甚至能补偿由于天气或海拔差异造成的大气压力变化。EPC 产品系列是专为控制腔室废气而设计，它能够稳定工艺环境以形成非常均匀的氧化膜层。快速的回应、广泛的气压控制范围、卓越的稳定性和资源消耗的减少等特性共同提高了该产品的应用收益，并降低其拥有成本。

优势

特点

出色的回应性和稳定性
非常均匀的氧化层
更好的工艺重复性
卓越的耐用性和可靠性
持有成本降低
安装简便
世界级的服务和支持

拥有专利的平衡卷轴技术
广泛的压力控制范围
功耗和 N2 消耗减少
紧凑的单封装设计
持续的 N2 净化，以进行自洁
针对湿法工艺的大型排放口
差压监控功能[1]
符合《电气、电子设备中限制使用某些有害物质指令（RoHS）》

^{[1] 只有 EPC100-AW 和 EPC100R-AW 具备}

可下载文献

Aera^® EPC Exhaust Pressure Controllers brochure
Aera^® EPC100-AW Wins IC Industry Award
Traditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint


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