Advanced Energy
Advanced Energy
A global leader in innovative power and control technologies that drive high-growth, plasma thin-film and nontech manufacturing processes.
产品与服务  |   新闻和事件  |   参考资料库  |   销售与支持  |   问题与回答  |   会员登入
集热温感式 MFC
Aera® FC-7700系列MFC的照片
  |  Contact Advanced Energy |  Email this to a friend |  Print this page |  

Aera® FC-7700 系列 MFC

作为针对各种应用的业界公认标准,Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精确的流量控制,同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业真空、及工业涂层的工艺及装备工程师,这一系列提供针对非腐蚀性气体应用(包括 CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺)的高度可靠性和出色的性能。

优势 特点
  • 快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒
  • 无与伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%
  • 易于整合——标准连接器和尺寸
  • 出色的效果——优质薄膜特性
  • 弹性密封
  • VCR® , VCO®, 及 Swagelok® 共容的连接
  • 满标度流量范围为10 sccm - 200 slm
  • 常关或常开的电磁控制阀
  • 最大的净化模式流量——校准后最多100次
  • 泄漏率为1x10-6 atm-cc/sec of He

可下载文献

更多信息

需要该产品的更多信息,请联系区域销售代表
寻找您所在区域的销售代表或授权分销商
登录并同意加入邮件列表,得到Advanced Energy 相关的新闻和最新动态

 

 

 

请点评此页

此页的讯息很有效益 (1-强烈不同意, 5-强烈同意)
1   2   3   4   5  

我们如何此页的讯息?