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集热温感式 MFC
Aera® FC-7800 series MFC photo
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Aera® FC-7800 系列 MFC

受了要求最苛刻的工考Advanced Energy的 Aera® FC-7800 系列提供精确的流量控制以及佳的阻性能和超高防漏的金属密封,合大部分气体控制用。

准或 Aera 独有的子接器等提高了方便性的功能,能够快速、松地替有的量流量控制器(MFCs)。
 
优势 特点
  • 快速——置点之的流量淀不到2秒
  • 无与伦比的可靠性——一年零漂移不到度流量的0.5% 
  • 易于整合——准连接器和尺寸 
  • 出色的效果——薄膜的特性
  • 防腐
  • 金属密封
  • VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性连接
  • 全金属密封
  • 度流量范10 sccm-200 slm 
  • 常或常的磁控制
  • 泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

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