凭借业界领先的流量控制技术，Aera® PI-980® 系列非压敏式 MFC（质量流量控制器）可预测新一代半导体制程不断增长的需求，这些制程包括蚀刻、化学汽相沉积 (CVD)、物理汽相沉积 (PVD) 和扩散。与先前的技术相比，这一创新的技术平台提供了更迅速的响应、更高的气体流量稳定性、更高的精确度以及一流的实时制程控制。较高的流量稳定性提供了更好的腔室到腔室制程可重复性，从而提高了生产产量。
PI-980 MFC 的设计将传统的热流量架构与一个压力传感器、温度传感器以及 NeuralStep® 控制技术进行了整合，从而创造了一个单一而精简的输送包，省去了以往一直需要使用的众多昂贵的气体面板组件。多气体、多范围功能大幅降低了支持性物品的要求，从而进一步提高了成本效率。除了整合式诊断，这种新一代 MFC 技术还被整合进了我们得到现场验证的 D980 系列产品平台，以延长系统正常运行时间，并使故障的发现和修理变得快速而简易。
Aera® PI-980® 系列非压敏式 MFC English Digital Mass Flow Controllers (2005) white paperFundamentals of Mass Flow Control (2005) white paperRevised Conversion Factor (2002) white paperTraditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint Beyond Pressure Transients: Using Pressure-Insensitive MFCs to Control Gases In Semiconductor Manufacturing, March 2006 magazine reprint Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMsAE Global Services brochure
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