拥有Arc Management System™ 技术的 Ascent® 直流电源
强大的 Ascent® 直流电源专门用于易产生电弧的工艺制程,它可以提供稳定功率,以获得可重复的高质量薄膜。严格的质量控制过程确保可达到最高可靠性。Effective Arc Management System™ 功能可以熄灭电弧,防止不必要的薄膜损坏或制程中断。同时 Set Point Compensation™ 技术可以平衡设定点与溅射率,即使在电弧非常频繁的情况下也能做到这一点。Ascent 电源配备了多种用户界面和虚拟前面板软件,易于设置和操作。您可以选择主/从装置,或利用 Arc-Sync™ 技术以多个相邻的阴极调节电源。不管您的配置如何,均可使用 Ascent 电源获得稳定、可重复的电源。
| 优势 |
特点 |
- 确保现场可靠性达到最高
- 高效地电弧管理以提高薄膜质量、生产效率、产量和利润
- 简化用于以下应用场合的建设镀膜制程中电源集成
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- 30、40 和 60 kW 型号
- 已获得专利以及正在申请专利的 Arc Management System™ 技术
- Set Point Compensation™ 技术
- 虚拟前面板 软件
- 远程控制前面板和被动前面板
- RS-232/485、以太网、Profibus 和模拟通讯接口
- 可主/从叠加到最多12台
- 全天候技术支持
- 符合 RoHS标准
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