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液体质量流量控制器
Aera® LX-1200 series liquid MFCs: precise, accurate, reliable liquid flow control that prevents bubble formation and retention problems. Ideal for liquids such as TEOS, TMP, and TMB.
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Aera® LX-1200 系列 LMFC

Aera® LX-1200 系列液体 MFC 控制的是液体的流量，而不是加热后的蒸汽。独特的设计能防止竞争性 LMFC 产品常见的气泡形成和滞留问题。
Aera® LX-1200 MFC 非常适合 TEOS、TMP 和 TMB 等液体。
优势 特点
  • 精准的流量控制
  • 高度可靠
  • 防止气泡
  • 独特的流动路径和组件解决了气泡形成和滞留问题


可下载文献

Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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