Advanced Energy® 电源系统

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产品与服务

离子源技术

温度控制仪器

太阳能逆变器

AE-CERTIFIED USED EQUIPMENT

电源系统

Advanced Energy 是电源产品的全球领先供货商，这些产品用在半导体、平板显示器、数据储存产品、太阳能电池、建筑玻璃和其他先进产品应用等制程中。我们的产品提供：

无与伦比的功率等离子控制
无可比拟的 DC 和 RF 电弧处理能力
尖端匹配技术
领先、整合和经证实的功率传送解决方案

我们为下列流程设计了电源系统功能：

RF 清洁
金属和电介质蚀刻
感光耐蚀膜抛光
化学汽相沉沈积 (CVD)
等离子增强化学汽相沈积沉积 (PECVD)
物理汽相沈积沉积 (PVD)
溅射沈积沉积

此外，我们提供 DC 溅射（反应溅射和金属化溅射）、AC 双阴极溅射和 PECVD，以及用于离子束沈积沉积、反应离子束蚀刻 (RIBE) 和尖端等离子仪表应用的设备。

电源选择矩阵

可下载文献

The Art of Choosing the Right Power Supply

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