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集压压感式 MFC
Aera® FC-P2000 pressure-based MFCs: precise control of low gas flow, highly effective in safe delivery system (SDS) applications.
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Aera® FC-P2000 系列 MFC

FC-P2000 集压式 MFC 能够在广泛的输入压力范围内，准确控制较低的气体流量。这使其在安全供给系统 (SDS) 应用中非常有效。在这类应用中，气体来源压力会随着气体的消耗而缓慢下降。
FC-P2000 MFC 能够控制2-4 sccm（N2 当量）、低至5 Torr 气缸压力的气体流量，从而能提供高达95%的气缸气体使用率。
优势 特点
  • 精确度高
  • 具有成本效益
  • 易于替换现有的 SDS MFC
  • 减少堵塞
  • 因素喷嘴技术

可下载文献

Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet

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