AE 的冗余阳极溅射 (RAS) 分流感应器消除了单靶材反应溅射工艺的阳极消失的问题，从而能够使此类系统接近直流溅射率。RAS 感应器新颖的设计中包括了两个阳极和一个阴极，从而便于对现有的系统进行改进。主要应用为配合PEII低频电源进行单靶磁控溅射。