AE公司的射频电源系统，加上AE的匹配网络，在以等离子为基础的薄膜制造工艺中表现优异。

PARAMOUNT^® 射频电源系统
APEX^® RF 射频电源系统
HFV^® 变频射频电源系统
CESAR^® 射频电源系统
HILIGHT™ 射频电源系统（13.56MHz,600W）
Integro™ 射频电源系统
OVATION™ VHF 射频电源系统
Navigator^C数字阻抗匹配网络
VARIOMATCH™ 匹配网络
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