Sekidenko OR2000F 光纤温度计 (OFT) 为时间-温度循环会影响生产力和良品率的应用提供热管理和控制解决方案以及非接触温度测量。这些光纤温度计在 RTP、HDPCVD、激光退火、外延、MOCVD 以及其它应用中提供高速、高温性能表现。高等光学、扩大的温度范围以及1-4信道配置确保了极度准确性和较高的采样率。

优势	特点
就地、非接触温度测量 极其准确的晶圆到晶圆的重复性 均匀性提高 高度稳定和可靠 生产力、良品率和吞吐量提高	蓝宝石或石英制成的复杂传感器 专有的电子技术，消除了电磁干扰，减小了噪音 扩展温度、高速性能 1-4个可配置传感器（信道）实现模块化配置 高采样率（每秒600个读数）能够对快速的温度变化进行追踪 数据监控和数据记录选择

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