Advanced Energy Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纤温度计&发射率计

温度控制仪器

Sekidenko OR 4000T 和 OR4000E 光纤温度计和发射率计图片

Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纤温度计&发射率计

Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纤温度计 (OFT) 为 RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV 固化以及其它半导体工艺提供了业界领先的非接触性温度测量性能。OR4000T 型号向要求最苛刻的半导体应用支持高达 2kHz 的读取率提供了多通道的功能。OR4000E 型号提供了与 OR4000T 一样的高速性能，还增添了实时发射率补偿功能。两个型号均设计为模块，能够快速调整以满足各个工艺应用的特殊要求。

优势	特点
提高温度测量精度增强可重复性，将变化减至最少提高生产力、良品率和吞吐量提高多种封闭空间和基片材料的稳定性及可靠性	在原位、非接触性温度测量实时发射率测量和补偿行业领先的温度和发射率读取率高度灵活、基于模块的平台架构完整的输入输出和外部触发/同步套件

可下载文献

Sekidenko OR 4000T and OR4000E Optical Fiber Thermometers and Emissometers data sheet
Infrared Thermometry (2006) white paper
Traditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint
AE Global Services brochure


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