Aera® AS-92 集热式蒸发器系统具有业界领先的可靠性和流动稳定性——从而大幅提高了薄膜的均匀性，延长了系统正常运行时间。与需要不断补充压力和频繁维护的装置不同，AS-92 蒸发器可以最少的维护，不间断地提供汽化的 TEOS、SiCl4、HMDS 以及其他前驱物质，而且无需不断的监控以补充压力。

AS-92 蒸发器将领先的热腔室及 MFC 技术与设计出色的Aera 产品及制造品质相结合。带来了一款高可靠度、维护量少的系统，增加了半导体、FPD 以及其他要求蒸汽供给稳定性高的尖端应用的正常运行时间、提高了工艺可重复性以及薄膜均匀性。